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目前，常用的 S 参数测量不确定度评定方法中均未考虑 S 参数相关性的问题，论文给出了一种2GHz ～18GHz 频率范围内 S 参数测量不确定度的评定方法，该方法从校准件的定义出发，基于 SOLT 校准技术对矢量网络分析仪进行自校准，将校准件引入的不确定度通过矢量网络分析仪传递给被测件（DUT ），通过使用蒙特卡洛仿真的方法（MCM ）得到矢量网络分析仪测量 DUT S 参数的测量不确定度，评定过程中考虑了相关性问题，提高了 S 参数测量不确定度的可靠性和合理性。