【摘 要】
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本文研制了强直流伸展电弧金刚石涂层沉积设备，它可产生长达400mm的等离子体弧柱，可沉积金刚石涂层的区域大，能够在复杂形状硬质合金刀具上沉积金刚石涂层，有利于实现金刚石涂层
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本文研制了强直流伸展电弧金刚石涂层沉积设备，它可产生长达400mm的等离子体弧柱，可沉积金刚石涂层的区域大，能够在复杂形状硬质合金刀具上沉积金刚石涂层，有利于实现金刚石涂层硬质合金工具的产业化生产。在直径1mm的微型铣刀上沉积了纳米金刚石涂层，研究了沉积压力对金刚石涂层组织的影响，沉积压力对金刚石涂层的晶粒尺寸和表面形貌有显著影响。随着沉积压力的降低，沉积的金刚石涂层晶粒尺寸减小，当沉积压力为0．80kPa时，可沉积出纳米金刚石涂层。涂层的厚度均匀，其表面光滑、平整，且与硬质合金基体之间有较好的附着力。用
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