【摘 要】
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玻璃板的涂覆方法是:在沉积温度时水平地夹住基板;将紊流态的反应物蒸气传输到基板的下表面,以沉积一层薄膜;由靠近传输喷嘴的一台抽吸设备提供负压而除去未反应的蒸气、副
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玻璃板的涂覆方法是:在沉积温度时水平地夹住基板;将紊流态的反应物蒸气传输到基板的下表面,以沉积一层薄膜;由靠近传输喷嘴的一台抽吸设备提供负压而除去未反应的蒸气、副产品等。反应物是一种金属有机化合物,最好与吸收剂混合;涂料是由 Bu·SnCl_3化合物沉积的锡氧化物,这种化合物最好由一种溶剂蒸气作载体,尤其是三氯乙烯、全氯乙烯或
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