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系统的介绍了我国深紫外非线性光学晶体的发展,主要以KBe_2BO_3F_2(KBBF)以及Sr_2Be_2B_2O_7(SBBO)族晶体为代表。通过晶体生长、确定结构以及各种光学性能的测定,发现KBBF晶体是目前唯一能采用直接倍频方法实现深紫外谐波光输出的非线性光学晶体。SBBO族晶体由于存在畴结构,目前还不能用于深紫外相干光输出。讨论了KBBF晶体的基本光学性质以及产生深紫外相干光源的能力和效率。介绍了这些深紫外相干光源的应用,并着重介绍了这些光源在先进能谱仪方面的应用及取得的重要成果。