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单晶MgO具有良好的物理化学性能及光学性能，是性能优异的薄膜基片及光学零件材料，广泛应用于高温超导、航空航天、光电技术等领域。用作薄膜生长的基片必须具有高精度超光滑无损伤的表面，而单晶MgO是典型的硬脆难加工材料，这对MgO晶体的超精密加工技术提出了很高的要求。本文介绍了单晶MgO的特性及其应用领域，针对高温超导薄膜制备对MgO基片的要求，讨论了现有的MgO基片加工工艺存在的问题，分析了几种可用于MgO基片超精密加工的先进工艺技术的特点和应用研究现状。