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在利用激光多普勒对硅微梳齿型谐振器多阶振动频率进行提取的基础上，结合频闪显微干涉测试技术对其谐振频率及其振幅进行了动态测试，并根据测试结果推导了谐振器的动态应力值．实验测试结果及应力推导结果与ANSYS的仿真结果相符合．
基于硅微梳齿型谐振器的MEMS动态测试研究
【摘 要】
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在利用激光多普勒对硅微梳齿型谐振器多阶振动频率进行提取的基础上，结合频闪显微干涉测试技术对其谐振频率及其振幅进行了动态测试，并根据测试结果推导了谐振器的动态应力值．实
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
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