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研究了通过小角度X射线衍射(XRD)技术测量纳米薄膜沉积厚度与沉积速率的方法，并测定了在SiC表面沉积Fe纳米薄膜的厚度和沉积速率。结果表明，采用小角度XRD技术测量纳米薄膜厚度和沉积速率，能克服基片性质、表面平整度和金属膜氧化的影响，准确、方便地测量纳米薄膜的厚度和沉积速率。
纳米薄膜厚度的X射线测量
【摘 要】
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研究了通过小角度X射线衍射(XRD)技术测量纳米薄膜沉积厚度与沉积速率的方法，并测定了在SiC表面沉积Fe纳米薄膜的厚度和沉积速率。结果表明，采用小角度XRD技术测量纳米薄膜厚度
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200030,上海交通大学高温材料及高温测试教育部开放实验室上海200030
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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2000年12期
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