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提出了一种利用空域采样实现相移干涉计量的新方法和实验演示装置.演示装置使用倾斜镜或阶梯镜作为相移器件,线阵CCD做为光学传感器.实验表明:此方法非常适用于测量快速变化的目标或动态过程,其测量精度与传统时域采样相移技术相当但具有更好的稳定性和更高的测量速度,而测量范围是离焦量的2倍.
利用空域采样相移干涉计量法测量微小位移
【摘 要】
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提出了一种利用空域采样实现相移干涉计量的新方法和实验演示装置.演示装置使用倾斜镜或阶梯镜作为相移器件,线阵CCD做为光学传感器.实验表明:此方法非常适用于测量快速变化
【机 构】
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中国矿业大学北京校区
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2003年4期
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