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【摘 要】
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利用射频溅射法制备了GeSb2Te4薄膜并对其进行热处理，分析热处理前后样品的结晶情况，用纳米硬度计测定硬度，利用静电力显微镜表征样品的表面电势，采用原子力显微镜观察薄膜表面形
【机 构】
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江苏大学微纳米技术研究中心,东华大学机械工程学院,清华大学材料工程系
【出 处】
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摩擦学学报
【发表日期】
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2006年2期
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