自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：suxinlan2009

【摘要】

：

利用射频离子源RF-2001控制器USER INTERFACE接口具有遥控开关控制的功能,采用继电器控制输出及开关量隔离输入卡DAC-7325E,通过光电传感器对靶转动定位、行星转动系统的监控

【作者】

：

刘洪祥李凌辉申林熊胜明张云洞

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所

【出处】

：

光学仪器

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

时间监控光电传感器自动控制光学薄膜离子束溅射 ion beam sputter time-power control photoelectric s

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利用射频离子源RF-2001控制器USER INTERFACE接口具有遥控开关控制的功能,采用继电器控制输出及开关量隔离输入卡DAC-7325E,通过光电传感器对靶转动定位、行星转动系统的监控,在国产IBSD-1000型离子束溅射镀膜系统上,首次成功地实现了单、双离子束溅射沉积镀膜过程的自动化控制.控制软件采用VB编程,程序控制界面直观、易于操作.

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