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以弧形刻刀刻划79g/mm的中阶梯衍射光栅为研究对象，基于滑移线场理论建立了光栅槽形隆起高度的数学模型，并以此分析出槽形隆起高度随主刃半径增大而降低的变化规律。在有限元软件DEFORM中建立了弧形刻刀刻划光栅的动态仿真模型，模拟出主刃圆弧半径参数对槽形隆起高度的影响规律，和理论分析一致。为弧形刻刀刻划中阶梯衍射光栅的机理和工艺研究奠定基础。