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TiNi形状记忆合金薄膜是近几年来随着微电子电路发展的新兴材料。目前,涂覆TiNi合金薄膜的材料被广泛用作集成电路中微驱动器、微动开关等智能电路元件等。介绍了TiNi合金薄膜的制备方法,总结了制备过程中影响薄膜性质的因素,结合TiNi合金薄膜的应用现状,提出了未来TiNi合金薄膜研究发展方向。
TiNi形状记忆合金薄膜的研究现状
【摘 要】
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TiNi形状记忆合金薄膜是近几年来随着微电子电路发展的新兴材料。目前,涂覆TiNi合金薄膜的材料被广泛用作集成电路中微驱动器、微动开关等智能电路元件等。介绍了TiNi合金薄
【机 构】
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天津工业大学纺织学院
【出 处】
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广州化工
【发表日期】
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2011年10期
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