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将蜂窝增强结构引入薄膜砷化镓太阳电池制备工艺,进行了三结砷化镓太阳电池外延设计与生长工艺以及蜂窝结构增强型柔性衬底制备技术研究。通过激光扫描显微镜、EL发光测试、I-V测试等手段分析了衬底增强型轻质高效薄膜砷化镓太阳电池制备工艺及结果。最终成功制备了面积达到24 cm2的薄膜砷化镓太阳电池。其效率达到30.57%(AM0,25℃),质量比功率可达到2.4 kW/kg。这为薄膜砷化镓太阳电池在未来载人航天、临近空间飞行器等应用打下了技术基础。