微振动振幅的精密测量

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本文给出一种微振动振幅的精密测量方法.此方法采用光拍相位检测、伺服锁定干涉仪光程差和窄带检测技术,大大提高了信噪比.微振动振幅检测灵敏度达2.2×10-2(?)/Hz1/2(2kHz信号).
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