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利用真空蒸发技术在ZnS粉末中掺入不同比例的Se粉末作为源材料,选择合适的工艺条件在玻璃衬底上获得了性能稳定的Zn(S,Se)薄膜,薄膜为纤锌矿结构,具有沿[002]晶向的择优取向。Zn(S,Se)薄膜为n型材料呈高阻状态,在可见光范围内具有良好的透过率。随Se成分的增加薄膜由无色透明变为橘黄色透明,吸收限向长波方向移动。