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微机械材料的杨氏模量测量是随着微机械构件的产生而提出的一项新技术.文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法.提出了用声激励共振法来测量微机械材料的杨氏模量.这种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点.
声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量
【摘 要】
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微机械材料的杨氏模量测量是随着微机械构件的产生而提出的一项新技术.文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法.提出了用声激励共振法来测量微机械材料的杨氏模量.这
【机 构】
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清华大学自动化系,北京,100084
【出 处】
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声学技术
【发表日期】
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2000年4期
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