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分析了用多弧离子镀和磁控溅射方法镀制Ｔｉ＋ＴｉＮ＋Ａｕ装饰膜的工艺中，影响膜层质量的主要工艺因素，实践表明，在基材经过严格的前处理后，只要对镀膜进行合理的控制，就能制出既有ＴｉＮ的硬度和耐磨性，又有黄金色泽的装饰膜层。
影响TiN掺金镀装饰膜质量的工艺因素
【摘 要】
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分析了用多弧离子镀和磁控溅射方法镀制Ｔｉ＋ＴｉＮ＋Ａｕ装饰膜的工艺中，影响膜层质量的主要工艺因素，实践表明，在基材经过严格的前处理后，只要对镀膜进行合理的控制，就能制出既有ＴｉＮ的硬度和耐磨性，又
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
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福州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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福建省教委基金
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