一种生产kovar合金封装盒体的新工艺

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采用蜡基多聚物为粘结剂体系,研究了注射成形Kovar合金盒体的生产工艺.以喂料的热分析结果为指导,制定出合理的热脱脂工艺,总共热脱脂时间约为18h.在氢气气氛下烧结,温度为1300℃时,可以制备出热膨胀系数在4.5~6.0×10-6K-1之间(25~450℃),气密性小于1.2×10-9Pa·m3·S-1的封装盒体.
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