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利用喷雾热解技术,在硅片衬底上生长了锰掺杂ZnAl2O4光致发光纳米薄膜.XRD分析测试结果表明,当AlCl3在Zn(OH)2中的含量高于20%,衬底温度高于100℃时,在衬底上形成ZnAl2O4-ZnO纳米复合薄膜;该复合薄膜经0.1mol/L盐酸处理后,形成ZnAl2O4尖晶石矿纳米薄膜.同时研究了金属锰离子掺杂ZnAl2O4纳米薄膜的光致发光性能,荧光光谱实验结果表明这种利用喷雾热解技术生长的掺锰ZnAl2O4尖晶石纳米薄膜,在525nm附近有一发光带,为Mn2+的4T1(4G)-6A1(6S)跃迁