锌还原法制备多晶硅的热力学

来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangjm
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对锌还原法过程进行了热力学分析,研究硅的产率与压强、温度以及物料配比的关系,并给出硅的产率随着压强、温度和物料配比的变化图,确定该生产过程中主要副反应。最后确定锌还原法的最佳操作条件为温度控制在1 200 K左右、常压、物料配比n(Zn)/n(SiCl4)=3。在此条件下,硅的理论产率为86.6%。
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