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提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法.对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述.以平行云纹和转角云纹为典型实验对该方法的测量精度进行了检验.该方法成功地应用于微电子系统结构在去除SiO2牺牲层后的残余变形测量.实验结果证实了该方法的可行性.
扫描离子束云纹法
【摘 要】
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提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法.对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述.以平行云纹和转角云纹为典型实验对该方法的测量精度进行
【机 构】
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清华大学,工程力学系,北京,100084清华大学结构与振动开放实验室;
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2003年1期
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