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近紫外光发射氧化锌薄膜是一种新兴的发光材料，它的发光波长比氮化镓的蓝光波长更短，在光存储应用中可以进一步提高光存储的密度，因而在光电子领域具有重要应用价值而备受关注。在此介绍我们用直流反应溅射方法在硅衬底上生长的氧化锌薄膜，观察了它们的阴极射线发光和光致发光光谱，研究了发光与薄膜晶体结构，以及发光与激发电子束流的关系等。并从中推测出ZnO薄膜中的发光中心。