用于非粘性液体检测的Lamb波传感器阵列

来源 :中国科学G辑:物理学、力学、天文学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjr_1988
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在负载液体的压电薄板上可通过叉指换能器(IDT)激发出Lamb波,Lamb波的相速度与液体的特性参数有关.基于该原理,引入有效介电常数的概念研究了Lamb波在液体传感领域的潜在应用,并针对理想非粘性液体的检测设计了同时并行敏感液体密度和介电常数的传感器阵列.以压电材料铌酸锂(LiNbO3)为例,为改进灵敏度及机电耦合系数,通过数值计算得到了传感器阵列的板厚、切向等优化结果. The Lamb wave can be excited by interdigital transducer (IDT) on liquid-filled piezoelectric thin plate, and the phase velocity of Lamb wave is related to the liquid characteristic parameter.Based on this principle, the concept of effective dielectric constant is introduced to study Lamb wave In the field of liquid sensing, a sensor array with parallel and sensitive liquid density and dielectric constant is designed for the detection of ideal non-viscous liquid. Taking the piezoelectric material LiNbO3 as an example, to improve the sensitivity and electromechanical Coupling coefficient, through the numerical calculation of the sensor array thickness, tangential and other optimization results.
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