论文部分内容阅读
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究.经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材料和多元结构形式的一体化集成加工.
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作
【摘 要】
：
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化
【机 构】
：
华东师范大学
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2007年5期
【基金项目】
：
国家863计划资助项目(2003AA404140),信息产业部电科院预研资助项目(41308050116),国家自然科学基金资助项目(60676047),上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11),上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
其他文献
在紫外光对液态树脂进行固化成型过程中,扫描光斑的直径、光强和扫描速度等工艺参数对固化结果有着直接影响.首先结合高斯光束的固化理论分析,从平面固化成型基本要素的直线