【摘 要】
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采用多弧离子镀技术,通过采用Ti-Al合金靶及Ti-Nb靶的组合方式,在高速钢基体上制备了( TiAlNb)N多组元硬质反应膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪对( TiAlNb)N膜层表面、断面形
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采用多弧离子镀技术,通过采用Ti-Al合金靶及Ti-Nb靶的组合方式,在高速钢基体上制备了( TiAlNb)N多组元硬质反应膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪对( TiAlNb)N膜层表面、断面形貌、成分、相结构进行观察测定;系统考察了( TiAlNb)N膜层的显微硬度、膜/基附着力、摩擦磨损及热震阻力等力学性能;结果表明,少量添加Nb的( TiAlNb)N多组元硬质膜为面心立方结构,具有良好的硬度、附着强度、耐磨性和抗热震性。
Multi-arc ion plating (TiAlNb) N multi-component hard reaction film was prepared on high speed steel substrate by using Ti-Al alloy target and Ti-Nb target. The surface, cross-sectional morphology, composition and phase structure of (TiAlNb) N were observed by scanning electron microscopy and X-ray diffractometer. The microhardness, film / Wear resistance and thermal shock resistance. The results show that the (TiAlNb) N multi-component hard film with a small amount of Nb added is a face-centered cubic structure with good hardness, adhesion strength, wear resistance and thermal shock resistance.
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