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介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器．根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求，对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析．测试表明器件的动态衰减范围≥50dB，插入损耗≤0．8dB，回波损耗≤-45dB，波长相关损耗≤0．2dB，偏振相关损耗≤0．25dB，