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提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案，还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。并指出基于隧道效应的微机械角速率传感器将极大提高传感器的灵敏度。
基于隧道效应的微机械角速率传感器
【摘 要】
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提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案，还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。并指出基于隧道效应的微机械角速率传感器将极大提高传感器的灵敏度。
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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中国惯性技术学报
【发表日期】
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2000年4期
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