论文部分内容阅读
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用.
微机电系统技术进展
【摘 要】
：
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微
【机 构】
：
河北工业大学化工学院,信息产业部十三所
【出 处】
：
河北工业大学学报
【发表日期】
：
2003年5期
其他文献
行政领导方式既是一个方法论问题，又是一个世界观问题；既是一个实践问题，又是一个理论问题。对此，笔者认为在新形势下的行政领导方式，要解决好人格力量、政策水平和工作方法等问题
城市天际轮廓线是城市生活事实的物质反映,不同的城市拥有不同的天际轮廓线,它反映了城市的独特性格.通过对重庆市渝中半岛轮廓线的分析,阐释山地滨水城市轮廓线景观的特征,
大数据时代的来临,高度信息化产生海量的信息数据是必然的,相对的信息安全问题的产生也层出不穷。本文通过分析大数据信息挖掘对个人或者组织信息安全产生的威胁,并使用案例
21世纪,中国教育发展对教师的心理素质提出了更高的要求.笔者通过分析研究中小学教师心理素质状况和心理健康问题的主要成因后认为,教师的心理健康问题,应成为全面提高教师素