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微机电系统技术进展
微机电系统技术进展
来源 :河北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaowenjiangy
【摘 要】
:
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微
【作 者】
:
张西慧
梁春广
【机 构】
:
河北工业大学化工学院,信息产业部十三所
【出 处】
:
河北工业大学学报
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
微机电系统
发展史
微制造技术
微执行器
微传感器
micro-electro-mechanical-system maturation micro-fabri
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概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用.
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