【摘 要】
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报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器,MOEMS和F-P TO宽频域光学滤波器,M-Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器.用应变层SiG
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报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器,MOEMS和F-P TO宽频域光学滤波器,M-Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器.用应变层SiGe/Si MQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM＜6 nm,外量子效率η＞4.2%;采用表面微机械加工的桥式光学滤波器,当外加电压0→50 V,连续可调谐范围达90 nm;采用全平面工艺研制的F-P腔TO滤波器,当外加电流0→57 mA时,连续可调谐范围达23 nm,FWHM＜0.5 nm.在SOI Si基
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