基于虚拟仪器的薄膜电阻率测量系统设计

来源 :江苏大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gbqangel

【摘要】

：

基于虚拟仪器技术及Rymaszewski四探针双电测组合法设计了薄膜电阻率自动化测量系统.在虚拟仪器软件LabVIEW和数字量输出模块NI 9401的控制下,利用基于CD4052芯片的接口电路

【作者】

：

潘海彬丁建宁李伯全罗开玉王小飞

【机构】

：

江苏大学机械工程学院,江苏大学微纳米科学技术研究中心,江苏工业学院低维材料微纳器件与系统研究中心

【出处】

：

江苏大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2010年4期

【关键词】

：

虚拟仪器方块电阻薄膜电阻率四探针双电测组合法范德堡修正因子 virtual instrumentation sheet resistance thin

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目（50775101）,江苏省高校“青蓝工程”项目（2008-04）,江苏省科技支撑计划项目（BE20080030）

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基于虚拟仪器技术及Rymaszewski四探针双电测组合法设计了薄膜电阻率自动化测量系统.在虚拟仪器软件LabVIEW和数字量输出模块NI 9401的控制下,利用基于CD4052芯片的接口电路实现电流探针、电压探针的自动切换,并通过LabVIEW程序控制Keithley 2400数字源表实现两次电压测量;同时根据两次电压测量结果由LabVIEW程序完成范德堡修正因子和方块电阻的计算;最终实现薄膜电阻率自动测量、记录和显示.试验结果表明,所设计的自动测量系统不仅可以满足多种薄膜电阻率测量要求,而且提高了测量

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