真空沉积法制备InSb纳米颗粒

来源 :应用光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sikongshan

【摘要】

：

采用真空沉积的方法在SiO2基片上制备出了纳米InSb颗粒薄膜.利用原子力显微镜对4片样品表面进行分析,从其表面形貌图和三维图中可以观察到有粒径均匀的纳米InSb颗粒形成并且

【作者】

：

孙全何焰兰吕志辉黄水花

【机构】

：

国防科学技术大学

【出处】

：

应用光学

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

纳米InSb颗粒真空蒸发沉积原子力显微镜 InSb nano-pelletvacuum evaporation depositionatomic force

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采用真空沉积的方法在SiO2基片上制备出了纳米InSb颗粒薄膜.利用原子力显微镜对4片样品表面进行分析,从其表面形貌图和三维图中可以观察到有粒径均匀的纳米InSb颗粒形成并且均匀地分布在SiO2基片表面.实验表明,通过改变镀膜时间可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒,并且颗粒直径与沉积时间和厚度成正比.

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