硅烷法多晶硅生产方法评述

来源 :中国化工贸易 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ming5583

【摘要】

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本文介绍硅烷法生产多晶硅工艺.石英砂、硫酸和氟化钙反应器中生产四氟化硅;液体钠和铝粉在溶剂中与氢气反应生成四氢化钠铝;四氟化硅和四氢化钠铝在溶剂中反应生成硅烷;硅烷

【作者】

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陈发挥

【机构】

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中国化学赛鼎宁波工程有限公司,浙江宁波,315048

【出处】

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中国化工贸易

【发表日期】

：

2018年30期

【关键词】

：

石英砂四氟化硅四氢化钠铝硅烷 CVD炉多晶硅

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本文介绍硅烷法生产多晶硅工艺.石英砂、硫酸和氟化钙反应器中生产四氟化硅;液体钠和铝粉在溶剂中与氢气反应生成四氢化钠铝;四氟化硅和四氢化钠铝在溶剂中反应生成硅烷;硅烷精制后进入CVD炉分解沉积成多晶硅棒.本文介绍硅烷法生产多晶硅技术,采用正硅烷工艺与CVD炉结合,将硅烷气提纯后在反应炉中生产纯度很高的棒状多晶硅.

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