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讨论了在低温条件下制备的ZnO：Al薄膜的结构、表面形貌和光电特性．对聚酰亚胺(Polyimide，PI)和玻璃两种不同衬底的薄膜进行了比较研究。两种不同衬底的薄膜均为多晶膜，具有六角纤锌矿结构，最佳取向均为(002)方向，衬底温度从室温到210℃时，制备的薄膜密度变化范围为4．6～5．16g／cm^2。在柔性衬底和玻璃衬底上制备的薄膜最低电阻率分别为5．3×10^-4Ω·cm和5．1×10^-4Ω·cm，薄膜在可见光区的平均透过率分别达到了72％和85％，讨论了两