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采用气体放电活化反应蒸发沉积（GDARE）法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜。在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度，结果表明：285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高，为9．76，并且其最佳工作温度区间较窄。通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试，可推测薄虞具有多孔性柱状晶表面结构，结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果，从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论。