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利用溶胶-凝胶法制备La1-xCaxMnO3薄膜。利用X射线衍射(XRD)、反射偏光显微镜和电感-电容-电阻测定计(LCR)仪对其结构、形貌和性质进行表征。XRD结果表明薄膜为钙钛矿结构,经不同温度退火后发生微小偏离。偏光显微图像显示薄膜表面形貌为菊花状团簇;经不同温度退火后的薄膜反射色有很大差异,因此反射色不能作为鉴定La1-xCaxMnO3的依据。随着退火温度升高,薄膜的介电损耗降低,说明高的温度退火后,薄膜质量较高。