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介绍了一种新型压电驱动器含金属芯压电陶瓷纤维（MPF），推导了MPF的驱动电压与位移关系，运用ABAQUS软件对MPF进行了有限元仿真，并将MPF在不同驱动电压下的位移进行了理论值和仿真值的对比，验证了所推导公式中响应位移和驱动电压关系的正确性。通过实验测试了MPF的迟滞特性，并设计了迟滞逆模型开环控制、迟滞逆模型结合比例、积分和微分（PID）的两种控制方法对MPF进行了迟滞补偿控制。实验表明，复合控制的效果较好，MPF迟滞得到了很好补偿，使输入和输出呈线性，实现了高于10nm的高精度定位。复合控制的实验