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根据MEMS传感器中随机误差较大，有时会覆盖传感器中有用信号的问题，提出采用Allan方差方法对MEMS传感器实测数据进行分析。系统地分析了引起MEMS传感器误差的随机噪声种类及其来源和特性，Allan方差分析方法的优势不仅在于能确定各类随机误差的误差特性，而且可以确定出其误差系数，由此可与相应的各种滤波方法相结合更好地实现其滤波效果。实验证明：Allan方差分析是对MEMS传感器随机误差进行研究的有效方法。