【摘 要】
：
<正> Ta_2O_5是一种性能优良的绝缘体材料,相对于传统MOS工艺中的SiO_2,Si_3N_4而言,它具有很高的介电常数(ε_(Ta_2O_5)=25,ε_(SiO_2)=4,ε(Si_3N_4)=7),高阻抗,低内应力,
【机 构】
：
复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金(批准号:29683001)
论文部分内容阅读
<正> Ta_2O_5是一种性能优良的绝缘体材料,相对于传统MOS工艺中的SiO_2,Si_3N_4而言,它具有很高的介电常数(ε_(Ta_2O_5)=25,ε_(SiO_2)=4,ε(Si_3N_4)=7),高阻抗,低内应力,及耐高压等优点。因此,它在未来的Si集成电路工艺中具有潜在的应用前景。迄今为止,人们尝试了用许多方法来制备Ta_2O_5薄膜,其中包括反应性溅射沉积,低压化学气相沉积(LPCVD),等离子体增强化学气相沉积(PECVD),光诱导化学气相沉积等,并对薄膜的结构和电学特性做
其他文献
为研究斜沟槽机匣处理对风机气动性能的影响,以OB-84型动叶可调式轴流风机为对象,基于FLUENT数值软件,模拟风机在原壁面和六种不同斜沟槽情况下的性能,分析叶顶与吸力面湍动
通过小尺寸模拟实验研究了通风因子和燃料床面积变化对室内燃烧速率的影响,发现这两者共同决定着室内的燃烧状况,其共同影响可用比值Pg~(1/2)A(1/H)/A_V来表征,并由此划分了
树莓派GPIO扩展RS485/GPIO模块,借助Modbus协议和变频器进行双向通讯,控制污水处理装置。本文介绍了基于树莓派的卧离心机污水处理装置的电控系统的设计;该电控系统不但实现了传统PLC控制系统所具有的全部功能,还能实现物联网功能,且总体成本大幅下降。Modbus
目前,国内在对孔板如何影响淹没式调节阀的流量控制精度、消能效果、振动及噪声控制等方面的特性的研究较少,且大多处于理论研究阶段。本文结合了某管道引水工程中使用的淹没
介绍近10年来国内、外中药毒理与安全性研究领域的新成果、新进展, 总结经验、指出存在问题,根据中药现代化发展进程需要,探讨今后研究方向及学科建设的重要性、可行性。
详细讨论了误码发生服从泊松分布的条件下，以实际误码个数除以传输的总码数来估计误码率这种方法的估计特征；给出了测量结果的精度、可靠性与测量时间内平均误码个数及测量时间
目的本研究旨在通过简单随机抽样和系统聚类分析的统计学方法,探讨功能性肠病(Functional Bowel Disorders,FBDs)的中医证型分布规律。方法通过文献调研的方式了解FBDs中医证
调控型气体密封作为一种非接触密封，可以提高系统服役过程中运行的稳定性，但是目前密封状态参数的计算方法存在计算模型建立过程繁杂以及迭代计算耗时较长等缺点。本文采用了一
<正>"家校合作"是家庭和学校群体的相互平等配合支持的过程。几年来,山东潍坊高新区清平小学积极开展家校合作,通过启动"亲子共成长教育园区"项目、创建"清平乐爸妈群"、发行
2016年10月21日起,原创大型国防教育特别节目《真正男子汉》第二季全网开播,在网络上再次掀起了一阵军旅体验话题的热潮。本文从受众接触媒介的"使用与满足"这一理论来分析此