准分子激光刻蚀光纤布拉格光栅

来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dzflying

【摘要】

：

准分子激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术,而近年来基于准分子紫外光源制作光纤布拉格光栅元件(FBG)的技术日益成为国内外的研究热点.本文简

【作者】

：

邓国庆朱志强张玉亮

【机构】

：

中国科学院安徽光学精密机械研究所

【出处】

：

光电子技术与信息

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

准分子激光光刻光纤布拉格光栅 excimer laser lithography optical fiber bragg grating

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

准分子激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术,而近年来基于准分子紫外光源制作光纤布拉格光栅元件(FBG)的技术日益成为国内外的研究热点.本文简述了准分子激光光刻的研究现状和光纤布拉格光栅的应用,详细介绍了利用紫外激光制作FBG的技术和相应准分子激光光源关键技术的发展.

其他文献

论系统与非系统

本文通过对非系统存在的普遍性的探讨，以及系统与非系统的联系和区别，说明非系统是系统否定性的存在，是系统演化的内在根据

期刊

非系统系统

康惠尔泡沫敷料联合慷舒灵凝胶治疗老年患者Ⅲ期压疮的效果观察

目的探讨康惠尔泡沫敷料联合慷舒灵凝胶治疗老年患者Ⅲ期压疮的应用效果。方法选取入住我科的Ⅲ期压疮老年患者60例，按患者入院先后顺序进行编号，根据奇偶数分为观察组和对照组

期刊

康惠尔泡沫敷料慷舒灵凝胶Ⅲ期压疮护理

信息技术环境下XBRL在企业中的应用

随着信息技术环境的不断发展，特别是网络技术的迅猛发展，经济发展模式也随之发生重大变化，企业披露领域正在进行着一场新的变革——财务报告的创新。由单一纸张为媒介的会计披露

期刊