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300mm投资热起来了酝酿于90年代中期、后被经济衰退所延误的300mm圆片制造技术,终于因半导体工业的复兴而得以全速发展。目前世界上共有26个300mm工厂正在建造之中,这些工厂在新厂房、新设施和新设备上的总投资大约在300~400亿美元,如果一切顺利的话,将在2001年至2002年期间先后投入生产。附表列出了这26家300mm工厂的概要情况。从今年的情况看,半导体业界在厂房与设备投入中的45%被投到了300mm工厂,0.13μm工厂的80%进入300mm圆片技术。所以,对今天的芯片制造商来说,要么不建