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目的探索影响射频激励全金属波导CO2激光器输出功率稳定性的因素。方法设计具有内循环水冷系统的410mm×72mm×88mm一体化的新型全金属结构，并通过实验研究确定工作气体的总气压、最佳气体混合气压比。结果当射频输入功率120W，频率为40MHz的情况下，充入气压为总气压10．5kPa的5％的Xe，CO2，N2和He的最佳气体混合气压比为1：1：4，最佳输出功率达到14．2W，功率转化效率为11．83％。结论当气体混合气压比不同，所添加的Xe气压的百分比不同，激光器的输出功率有很大的差