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根据薄膜对X射线的吸收效应，利用X射线衍射方法可测量出多晶基材表面的薄膜厚度。但试验结果显示，基材的择优取向效应对薄膜厚度的测量影响显著。根据理论分析，提出了择优取向修正方法。在对X射线衍射数据进行择优取向修正后，利用最小二乘法对修正后的数据进行拟合。拟合结果显示，该方法可以有效地对基材的择优取向效应进行修正，从而获得较为准确的薄膜厚度值。