改善(Pb,Ca)TiO3薄膜的铁电性能研究

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用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在LaNiO3/Si(111)基片制备出高度(100)取向生长的钙钛矿相(Pb0.76Ca0.24)TiO3(PCT)薄膜.用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;测试了薄膜的铁电和介电特性.PCT薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为9.3 μC/cm2和64 kV/cm,在100 kHz薄膜的介电系数和损耗分别为231和0.045.比较了在不同电极制备PCT薄膜的结果,用LaNiO3作底电极,改善了铁电性,降低了矫顽场.
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