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用磁控溅射法制备了FeCoSiB纳米磁性颗粒膜,使用微波矢量网络分析仪,用波导法在C波段测量了溅射膜的微波复数磁导率、复介电常数的频散特性,分析了纳米磁性颗粒膜微波频率下高导磁率的机理.实验结果表明,纳米磁性颗粒膜除在民用的超薄、超轻信息设备中作为新一代微磁器件的重要材料外,还将有可能成为一种全新、大跨度的抗电磁干扰及雷达波吸波材料.