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为培养研究生的创新思维能力,根据《半导体加工技术》研究生课程的内容与特点,探索开展基于应用导向的教学过程。系统思维和发散思维是创新思维的两种基本形式。如何在研究生课程的讲授过程中,提交研究生的这两种思维能力。本文通过课堂教学、课后挖掘以及结课考察3个方面详细介绍了一种导向性的教学方法和教学过程。