【摘 要】
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为了用机器视觉检测技术精确检测微小零件的几何轮廓误差,设计了一套高分辨率非球面双远心物镜。根据检测要求确定系统的光学参数,运用架构分析法对系统进行整体光学初始结构
【机 构】
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桂林电子科技大学机电工程学院光机电一体化研究所,桂林电子科技大学电子与自动化工程学院
【基金项目】
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广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金（桂科能10-046-07-007）、广西自然科学基金（2015jjBA70017）、桂林电子科技大学研究生科研创新项目（YJCXS201503）
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为了用机器视觉检测技术精确检测微小零件的几何轮廓误差,设计了一套高分辨率非球面双远心物镜。根据检测要求确定系统的光学参数,运用架构分析法对系统进行整体光学初始结构设计。运用Zemax光学设计软件对初始结构进行优化,在物镜设计中引入非球面,使结构简化,并有效地平衡系统像差,提高像质。这个结构实现了低畸变(最大畸变小于一个像素)、高分辨率[在奈奎斯特频率90.91 lp/mm处调制传递函数(MTF)值优于0.7,全视场400 lp/mm处MTF值达到0.15]和双远心系统的设计要求。
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