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<正> 由于当今芯片的线宽日趋细小,其设计和加工的工艺要求日益复杂,因此设计和建造相应的超净洁净室的价格也就变的非常昂贵,所以洁净室性能的测试就变的日益重要。在下面这篇文章中,新加坡CESSTECH公司突出了洁净室性能测试的重要性,并着眼于动态测试、测试标准和一些被推荐的惯例。
洁净室性能测试及认证的基础
【摘 要】
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<正> 由于当今芯片的线宽日趋细小,其设计和加工的工艺要求日益复杂,因此设计和建造相应的超净洁净室的价格也就变的非常昂贵,所以洁净室性能的测试就变的日益重要。在下面这
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
：
2004年期
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