【摘 要】
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根据 Macnielle薄膜偏光分束镜的设计原理 ,利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计。总结了偏光镜设计时参考波长、入射角以及膜层数随波长的变化规律 ,给出了 La K2 基
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根据 Macnielle薄膜偏光分束镜的设计原理 ,利用膜系设计软件对偏光分束镜进行优化设计。总结了偏光镜设计时参考波长、入射角以及膜层数随波长的变化规律 ,给出了 La K2 基底 ,Zr O2 和 Si O2为高低膜料的薄膜偏光分束镜优化设计方案 ,为薄膜偏光分束镜的设计和镀膜工艺提供了参考依据
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