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采用高热导率碳化硅陶瓷作为吸收体材料，基于厚膜技术制作电热单元，研制了10mW-1W电校准准分子激光功率标准器，基于电替代法实现激光功率量值复现，量值复现不确定度达到0．26％（k=1）。在脉冲激光条件下对SiC陶瓷和几种常用的面吸收体材料进行了激光损伤测试，结果显示高热导率SiC陶瓷具有较高的抗损伤性能，设计的锥形结构吸收体在248nm准分子激光条件下能量损伤阈值为2．2J／cm^2。在多波长下基于积分球系统测量了腔体吸收率，介绍了248nm准分子激光条件下吸收率测量方法，设计的腔体在几种波长下吸收率大