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超大规模集成电路生产对于生产环境中化学污染控制指标的要求日趋严格。本文介绍几项在净化空调系统设计中采用的污染控制技术措施。
超大规模集成电路生产环境化学污染及控制
【摘 要】
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超大规模集成电路生产对于生产环境中化学污染控制指标的要求日趋严格。本文介绍几项在净化空调系统设计中采用的污染控制技术措施。
【机 构】
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信息产业部电子第十一设计研究院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2000年1期
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